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best365英国体育在线便携式热偶真空计 真空测试仪原理操作步骤
浏览次数:13发布日期:2025/11/27
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best365英国体育在线便携式热偶真空计 真空测试仪原理操作步骤

是一种基于气体热导率与压力关系的真空测量仪器,通过检测加热丝温度变化间接反映真空度。以下是其核心原理和操作要点:

工作原理

热传导特性:气体分子的热导率与压力成正比。当压力降低时,气体导热减少,加热丝温度升高,热电偶输出的电势随之增大。

温度-电势转换:加热丝通以恒定电流,其温度由周围气体压力决定。热电偶将温度变化转化为电势信号,通过毫伏表或数字显示转换为压力值。

操作步骤

预热与校准

连接规管后,预热10分钟,确保系统稳定。

调节加热电流至规定值(通常标注在规管或说明书上),使指针满度并持续1分钟。

测量模式切换

将“热偶选择"开关置于“测量"位置,重复测定三次以提高准确性。

注意事项

量程范围:通常为0.1Pa1000Pa,需在不同气体下标定(因气体导热性差异)。

避免在氧化性或腐蚀性气体中使用,以防热丝氧化或损坏。

适用场景

适用于低真空至中真空环境(1~300Pa),常用于真空镀膜、半导体制造等工艺的真空度监控。